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尘埃粒子计数器应用背景
洁净室洁净度确认中，有一项尘埃粒子检测，是主要关键项之一，激光尘埃粒子计数器是用来测定洁净空气中离散粒子的粒径及其粒子浓度的仪器，用以确定洁净室、洁净区的洁净度等级，也可以用来对洁净工作台和过滤器等的性能进行检测。人们对尘埃粒子计数器的要求也越来越高，需要检测的粒径也越来越小，对仪器的准确性要求越来越严格。
翻阅资料，我发现国外所有尘埃粒子计数器如TSI尘埃粒子计数器的性能指标上都有一项技术参数重合误差。
重合误差是什么？
尘埃粒子计数器利用了光散射原理设计而成，采样空气以一定的流量从开启的吸气口通过有稳定光源照射的照射区，光线在空气悬浮粒子上发生散射，向前和向内的散射光会聚在光电倍增管之类的光电元件上，转换成了电脉冲信号。利用脉冲峰值与散射光强度成正比，而散射光强度又和粒子直径大小成一定比例，就可以通过分析电脉冲信号峰值来选择所需粒径，后通过计算选定的脉冲信号数目就可得到大于特定粒径的微粒数量，从而测得一定气体流量下的粒子浓度。
因此，为了更为准确的检测数据，我们一般只允许在洁净室中使用尘埃粒子计数器，在非洁净区域，不建议使用激光尘埃粒子计数器，原因是：重合误差大，会污染粒子计数器。
